微导ALD尖端半导体设备产业化取得重大进展

新年伊始，江苏微导纳米科技股份有限公司喜迎公司发展又一里程碑。

微导专用于先进芯片制造的原子层沉积（ALD）设备获得国内某先进半导体制造企业的重复订单，为半导体产品技术迭代提供了关键工艺解决方案，标志着微导在国产尖端ALD装备产业化领域迈出了坚实的步伐。

随着半导体制造技术的不断进步，对ALD技术需求也愈发显著。微导与国内多家半导体企业展开深入合作，在多项ALD技术领域取得重大突破并迅速赢得客户认可 。

作为国内尖端微纳制造核心装备企业，微导在产品设计性能上力求超越现有技术，并突破了多项技术“无人区”，填补了该领域无国产设备的空白，助力先进集成电路制造国产化进入新历程。本次获得重复订单装备性能突出，工艺选择性强，尤其适用于先进超大规模集成电路制造所需各类ALD薄膜沉积。

关于 微导纳米

江苏微导纳米科技股份有限公司，是一家面向全球的高端设备制造商，专注于先进薄膜沉积装备的开发、设计、生产和服务。公司以原子层沉积技术（ALD）为核心，业务涵盖半导体、光伏、LED&MEMS、柔性电子、新能源等工业领域。微导提供应用于逻辑、存储、3D-IC、化合物等先进制程的半导体ALD设备，也提供应用于PERC、TOPCon等新一代高效电池的薄膜设备及整线技术和应用于柔性材料的高性能阻氧阻水薄膜设备。

公司获评国家高新技术企业，工信部专精特新“小巨人”企业、“硬科技”企业， 独角兽企业等荣誉；并建有省博士后工作站，研究生工作站，外专工作室；还设立江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省原子层沉积技术工程研究中心、江苏省企业中心。

微导成立6年以来取得了众多傲人成绩，成功研发出多款从0到1的尖端量产化设备。多次助力行业技术突破，期待微导ALD技术不断在半导体以及光伏等尖端领域的产业化道路上再创佳绩。（来源：无锡高新科技）

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